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| 上海工研院2025年硅光MPW流片启动，席位有限，预订从速！ | |
 | 11/20/2024，光纤在线讯，上海工研院(SITRI)联合中国科学院上海微系统所、中国科学院半导体研究所、上海交通大学等国内硅基光电子领域知名研究机构，建立硅基光电子器件工艺平台，拥有近5000平米洁净室，具备90nm高精度光刻、晶体外延、介质薄膜生长、干法及湿法刻蚀、掺杂、金属互连和在线工艺检...... 2024-11-20 16:28:27 |
| 助推交叉融合创新，上海工研院成功量产多款生物芯片 | |
 | 6/20/2024，光纤在线讯，基于微机电系统（MEMS）微纳加工技术的生物芯片（Bio-Chip）属于生物医学与集成电路的交叉融合创新领域，可以实现器件和系统的微型化，能显著提升生物医学的诊断和治疗能力，具有自动化、高通量、更快捷和损伤更小等优点。纳米孔基因测序芯片是生物芯片的重要应用之一，作为纳...... 2024-06-20 17:12:49 |