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俄罗斯拨款推进国产芯片光刻机生产
11/11/2024，光纤在线讯，据cnews.ru网11月7日报道，俄罗斯工业和贸易部已拨款4.971亿卢布，用于开发光刻机所需的计量设备，以支持国产芯片的生产。该部门于2024年11月发布了相关研发招标。项目旨在建立光谱紫外区激光辐射参数参考集，涵盖193和248纳米波长设备，预计2027年4月...... 2024-11-11 11:26:42