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韩国GIST宣布开发出新一代热基干法工艺的尖端半导体制造技术
	2/17/2025，光纤在线讯，据韩联社2月17日光州报道，韩国光州科学技术研究所（GIST）17日宣布，其研究团队成功开发了一种环保高效的下一代半导体制造技术。该技术由GIST化学系洪锡元教授团队与浦项加速器研究所（PAL）黄灿国博士团队联合研发，采用热基干法工艺，克服了现有湿法工艺的局限性。 ...... 2025-02-17 10:01:57