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上海工研院2025年硅光MPW流片启动，席位有限，预订从速！
	11/20/2024，光纤在线讯，上海工研院(SITRI)联合中国科学院上海微系统所、中国科学院半导体研究所、上海交通大学等国内硅基光电子领域知名研究机构，建立硅基光电子器件工艺平台，拥有近5000平米洁净室，具备90nm高精度光刻、晶体外延、介质薄膜生长、干法及湿法刻蚀、掺杂、金属互连和在线工艺检...... 2024-11-20 16:28:27