俄罗斯拨款推进国产芯片光刻机生产

11/11/2024，光纤在线讯，据cnews.ru网11月7日报道，俄罗斯工业和贸易部已拨款4.971亿卢布，用于开发光刻机所需的计量设备，以支持国产芯片的生产。该部门于2024年11月发布了相关研发招标。项目旨在建立光谱紫外区激光辐射参数参考集，涵盖193和248纳米波长设备，预计2027年4月完成。所开发零部件和材料需国内生产，以减少对国外依赖。

      电子部门负责人表示，此次订购设备将用于检查光刻装置中激光器的技术参数。同时，俄罗斯计划于2024年开始生产350纳米拓扑芯片设备，2026年生产130纳米设备，目前相关光刻机已开始测试。

来源：邮电设计技术
参考报道：corp.cnews.ru