上海工研院2024年硅光MPW排期发布，欢迎预定流片！
发布时间：2024-01-03 15:55:27 热度：1625
1/03/2024，光纤在线讯，上海工研院（SITRI）联合中国科学院上海微系统所、中国科学院半导体研究所、上海交大等国内硅基光电子领域知名研究机构，建立硅基光电子器件工艺平台，具备硅基异质材料外延、硅基光电子器件/芯片加工制备、封装测试等能力，可以通过MPW、定制化流片、联合研发等多种方式为高校和企业提供服务，满足客户研发、中试、封装等多样化需求。
*表中时间为客户首次提交自查DRC free的版图时间
*单个Block尺寸3mm × 10mm，交付25个芯片
SITRI共提供2套硅光工艺，包括90nm SOI有源/无源工艺与180nm SiN无源工艺，具体工艺能力如下：
01、90nm工艺节点SOI流片
目前，SOI集成工艺流片的最小工艺节点已升级至90nm，具备三步硅刻蚀、多步有源器件掺杂、锗外延、TiN金属加热电极、双层铝互连和深硅刻蚀等关键工艺能力，可实现各种高性能的硅光无源、有源器件。
基本工艺能力如下表所示：
器件库性能如下表所示：
02、180nm工艺节点SiN流片
SiN集成工艺流片具备LPCVD氮化硅、TiN金属加热电极、单层铝互连和深硅刻蚀等关键工艺能力，可实现各种高性能氮化硅无源器件。
基本工艺能力如下表所示：
器件库性能如下表所示：
MPW服务流程
定制化服务流程
*如有流片需求，请邮件联系商务张经理获取PDK，欢迎垂询！
邮箱：Rex.Zhang@sitri.com
电话：156-9213-9359
关于上海微技术工业研究院：
上海微技术工业研究院（SITRI）成立于2013年，由上海市科学技术委员会、嘉定区政府和中国科学院上海微系统与信息技术研究所发起成立，是集研发、工程、产业化及培育于一体的研发与转化功能型平台，为创新企业及合作伙伴提供深度工艺技术支持和服务。SITRI在上海联和投资有限公司服务国家战略、做科创发展先行者排头兵战略使命的指导下，依托中国科学院上海微系统所“三位一体”创新架构模式建立，通过上海微系统所技术力量的支撑以及上海新微科技集团投资运营模式的支持，与国内外众多的产、学、研组织建立了紧密的合作关系，实现创新成果的高效率产业化，加速“超越摩尔”产业生态系统建立。
SITRI拥有全国首条8英寸“超越摩尔”（More than Moore）研发中试线，提供MEMS、硅光、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术，为设计、装备和材料等半导体公司提供高效的研发、中试和验证服务，实现从研发到小批量生产无缝对接。截至目前，SITRI已累计申请专利866项，发明专利686项，其中PCT（国际专利）专利55项。 SITRI立足上海、面向长三角、辐射全国，已初步形成“超越摩尔”领域的产业生态体系。
*表中时间为客户首次提交自查DRC free的版图时间
*单个Block尺寸3mm × 10mm，交付25个芯片
SITRI共提供2套硅光工艺，包括90nm SOI有源/无源工艺与180nm SiN无源工艺，具体工艺能力如下：
01、90nm工艺节点SOI流片
目前，SOI集成工艺流片的最小工艺节点已升级至90nm，具备三步硅刻蚀、多步有源器件掺杂、锗外延、TiN金属加热电极、双层铝互连和深硅刻蚀等关键工艺能力，可实现各种高性能的硅光无源、有源器件。
基本工艺能力如下表所示：
器件库性能如下表所示：
02、180nm工艺节点SiN流片
SiN集成工艺流片具备LPCVD氮化硅、TiN金属加热电极、单层铝互连和深硅刻蚀等关键工艺能力，可实现各种高性能氮化硅无源器件。
基本工艺能力如下表所示：
器件库性能如下表所示：
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上海微技术工业研究院（SITRI）成立于2013年，由上海市科学技术委员会、嘉定区政府和中国科学院上海微系统与信息技术研究所发起成立，是集研发、工程、产业化及培育于一体的研发与转化功能型平台，为创新企业及合作伙伴提供深度工艺技术支持和服务。SITRI在上海联和投资有限公司服务国家战略、做科创发展先行者排头兵战略使命的指导下，依托中国科学院上海微系统所“三位一体”创新架构模式建立，通过上海微系统所技术力量的支撑以及上海新微科技集团投资运营模式的支持，与国内外众多的产、学、研组织建立了紧密的合作关系，实现创新成果的高效率产业化，加速“超越摩尔”产业生态系统建立。
SITRI拥有全国首条8英寸“超越摩尔”（More than Moore）研发中试线，提供MEMS、硅光、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术，为设计、装备和材料等半导体公司提供高效的研发、中试和验证服务，实现从研发到小批量生产无缝对接。截至目前，SITRI已累计申请专利866项，发明专利686项，其中PCT（国际专利）专利55项。 SITRI立足上海、面向长三角、辐射全国，已初步形成“超越摩尔”领域的产业生态体系。
