您搜索的“流片”，共有2项相关结果。
| 不限 一周内 两周内 一个月内 三个月内 半年内 | |
| 上海工研院2025年硅光MPW流片启动，席位有限，预订从速！ | |
 | 11/20/2024，光纤在线讯，上海工研院(SITRI)联合中国科学院上海微系统所、中国科学院半导体研究所、上海交通大学等国内硅基光电子领域知名研究机构，建立硅基光电子器件工艺平台，拥有近5000平米洁净室，具备90nm高精度光刻、晶体外延、介质薄膜生长、干法及湿法刻蚀、掺杂、金属互连和在线工艺检...... 2024-11-20 16:28:27 |
| 中科院微电子所在先进工艺仿真方向取得重要进展 | |
 | 11/08/2024，光纤在线讯，环栅晶体管（GAAFET）与传统FinFET工艺流程相比，引入了内侧墙（innerspacer）、沟道释放（channelrelease）等工艺，必须通过对叠层结构的精确横向刻蚀来实现。高精度刻蚀工艺控制是三维集成电路制造面临的最大挑战之一，其工艺机理和调控机制在科...... 2024-11-08 11:29:51 |