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| 微电子所28nm 嵌入式RRAM IP赋能先进显示芯片在京量产 | |
 | 11/15/2024，光纤在线讯，当前，Flash遇到制程微缩瓶颈，大规模量产停滞在40nm。微电子所刘明院士团队推出创新突破性的28nm嵌入式RRAMIP，成功应用于全球首款28nm先进显示芯片并实现量产。
近日，北京经济技术开发区（北京亦庄）显示高技术企业宣布全球首款应用28nmRRAMIP的...... 2024-11-15 14:27:47 |
| 中科院微电子所在先进工艺仿真方向取得重要进展 | |
 | 11/08/2024，光纤在线讯，环栅晶体管（GAAFET）与传统FinFET工艺流程相比，引入了内侧墙（innerspacer）、沟道释放（channelrelease）等工艺，必须通过对叠层结构的精确横向刻蚀来实现。高精度刻蚀工艺控制是三维集成电路制造面临的最大挑战之一，其工艺机理和调控机制在科...... 2024-11-08 11:29:51 |