专访上海微系统所余明斌研究员：呼之欲出的中国硅光工艺平台

7/24/2018,光纤在线讯：见到余明斌老师，编辑最关心的问题就是上海的硅光工艺线什么时候能够启用？余老师的回答是年内就可以。目前大部分的设备招标采购工作已经完成，还有一批正在进行中。第一批采购的设备8月中旬就开始到货。这些设备只是上海微系统所的硅光工艺线所需的一部分设备。事实上去年年底，编辑曾经前往上海嘉定参观了余老师他们正在建设中的工艺线。当时除了部分前道工序，大部分后道工序的设备都已经到位。余老师说，基本上他们现在只要不涉及PN结的结构，他们都可以做，也就是大部分无源器件和调制器等结构都可以做。除了硬件设备，余老师他们还在集成工艺技术开发方面做了很多工作。他们的目标是在设备到位的情况下能够迅速形成流片能力。余老师告诉编辑，这条线是专门为硅光流片打造的，更具专业性，可以更好保障品质。从他以往工作的经验来看，流片客户最关心的无非是芯片质量和流片周期两个问题。上海硅光工艺线可以很好解决客户的担心。


CFOL配图：上海微系统所 余明斌

余老师说，上海硅光工艺线是一条90nm的工艺线，可以满足现在绝大多数硅光产品的流片需求。上海硅光工艺线的目标就是打造共性的技术平台，为客户开发硅光产品提供最大的方便。为此，他们打造了和国外类似平台同样标准的元器件库和工艺库，可以同样为客户提供MPW（多客户共用）和定制化的服务，而且他们还将不断丰富自己的工艺库和器件库。

余老师告诉编辑，他们上海硅光工艺线不仅拥有第一流的设备，而且他们的核心工艺技术人员在硅光领域拥有丰富的经验。可以相信，这条工艺线的建设，必将极大地促进中国硅光产业的发展。