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Ibsen推出 2D 相位掩模

光纤在线编辑部  2005-01-15 11:52:48  文章来源：综合整理  版权所有,未经许可严禁转载.

导读：

1/14/2005，丹麦全息相位掩模，传输衍射光栅，基于衍射光栅的光谱分析产品领先供应商Ibsen光子今天推出针对方格光栅结构单次曝光工艺的2D相位掩模产品。相位掩模产品经理Kristian Buchwald评价说：“e-beam, 直接全息或者采用标准掩模的2次曝光等现有2D光栅制作方法都很麻烦。利用2D相位掩模制作2D光栅将让制作2D光栅同制作1D光栅一样简单。”
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