1/8/2003, 领先的高折射率光波导材料和工艺厂商Little Optics, Inc.(http://www.littleoptics.com/)今天宣布将为光器件厂商提供提高集成光波导集成度的工艺服务。Little Optics 利用其专利的 HydexTM 工艺发展 6 英寸晶圆,折射率差可以达到1.5 到 5.0%, 还可以根据客户要求达到10% 。这种工艺可以将器件的集成度比以往SiO2 波导工艺提高100倍以上。Little Optics的HydexTM 工艺已经经过2000小时的可靠性测试。
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