MEMS 正成为市场亮点
光纤在线编辑部 2002-10-06 16:34:53 文章来源：综合整理 版权所有,未经许可严禁转载.
导读：
10/3/2002, 市场调研公司In-Stat/MDR (http://www.instat.com)日前指出MEMS器件制造设备正在成为半导体设备市场领域的亮点。目前全球有60家左右的MEMS制造工厂，上百家MEMS领域的新兴公司以及更多的大学和研究机构。他们构成了MEMS设备的市场基础。无论兼顾MEMS的半导体生产设备还是专门用于MEMS的设备目前的销售都还不错。另讯，领先的MEMS器件制造商OMM, Inc.刚刚获得MEMS领域的四项美国专利，依次是US# 6445841, US #6445840, US #6449406, US #6453083。(刘铮编译)
关键字： MEMS
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