武汉嘉迅光电推出mems voa

4/03/2020，MEMS VOA所采用的是很成熟的MEMS技术，其技术实现难度低于Mems OSW，武汉嘉迅光电潜心深耕MEMS技术，开创性地推出了超低WDL Mems VOA。

Mems VOA有2种大类型：
第一种为Mems Shutter VOA，也称挡光式Mems VOA，原理为通过控制Mems Shutter对信号光进行阻挡（控制一般采取加热方式），实现光信号衰减功能。
第二种为Mems Mirror VOA，也称转镜式Mems VOA，原理为通过控制MEMS Mirror芯片的转动，使出射的信号光发生偏转，改变输出port上接收到的光斑大小，实现光信号衰减功能。
对比两种原理的Mems VOA，挡光式Mems VOA因为需要加热，功耗较高。转镜式Mems VOA功耗极低，尺寸更小。本文讨论第二种，下文中Mems VOA都特指转镜式Mems VOA。

MEMS VOA主流设计都是采用同轴设计方案，通过以下几个步骤来实现：
1、将MEMS芯片进行TO封装；
2、对光路进行调试，获得最大衰减的光路；
3、将调试好的光路和双芯准直器封装到同轴圆管内。

Mems VOA有2种小类型：
1、Bright型，初始0电压对应0衰减；
2、Dark型，初始0电压对应最大衰减；

以Bright型为例，Mems VOA器件的衰减原理图如下：


Mems VOA的器件实物图：


Mems VOA的功能是实现光路衰减，其应用方向主要有几个方面：
1、用于测试系统或集成到测试仪表内；
2、功率均衡，与OADM配合，或和AWG组成VMUX；
3、集成到EDFA内，调节输出斜率，调整放大器增益实现VGA功能。

Mems VOA的应用场景集中在骨干网，城域网，下图为Mems VOA配合OADM进行功率均衡示意图