日立高新技术精彩亮相第二届射频滤波器创新技术大会

4/20/2023，光纤在线讯，2023年3月3日-5日，第二届射频滤波器创新技术大会在武汉隆重召开。本届大会以“创享·新生”为主题，由武汉敏声新技术有限公司主办，湖北省青年科技工作者协会、湖北省自然科学学会工作研究会、上海新硅聚合半导体有限公司、安徽云塔电子科技有限公司、无锡麦姆斯咨询有限公司共同协办。 



     射频滤波器作为无线通信射频前端核心器件，对中国5G、6G通信产业发展具有至关重要的作用。射频滤波器创新技术大会的举办，旨在为射频滤波器创新技术和产业应用提供专业交流平台，推动产学研合作，加速解决“卡脖子”问题，为射频滤波器国产化贡献更多的智慧成果和力量。

     为期两天的大会共进行了28场主题报告，全方位呈现国内射频滤波器行业的创新技术和产业现状。同期举办的创新成果展区，展示了多家企业的最新研究成果。日立高新技术受邀出席并作主题报告。 




     作为意在深度参与到中国射频滤波器产业发展的其中一员，此次日立高新也满载诚意带着公司独立自主，自行研发的两款最新的量测检测设备(CD-SEM)CS4800及(Review-SEM)CT1000参加了本次创新技术大会并与与会的各路专家学者展开了积极的互动。

     自1984年S6000系列关键尺寸扫描电镜诞生以来，Hitachi High-tech的量测检测设备逐步成长发展壮大至今已有39年的历史，此次展出的CS4800作为4~8英寸等小口径晶圆专用的CD-SEM的回归之作，可谓是众望所归。新设备在高自动化，多种晶圆尺寸对应的灵活性以及高吞吐量所展现出革新式技术必将为满足各种类型的客户端产品提供服务和支持。除了适用于半导体级的IC芯片制造之外，在MEMS领域，该设备也为了适配射频前端的表/体声波滤波器等大量被设置在手机通讯信号传输领域内的生产商，在设计上投入了大幅的革新技术。对射频滤波器的量产起着具足轻重的作用。 



CS4800设备外观

     作为一款面向小尺寸晶圆地Review SEM，CT1000除了观察晶圆表面缺陷，以及形成缺陷的成分化学元素的分析等基本功能以外，还标准配备了至多倾斜55°的Tilt ADR功能更是为现场工程师提供了更加直观的3D立体观察影像，为改善制程工艺添砖加瓦。 


CT1000设备外观


90°垂直俯瞰图&45°倾斜3D立体图

     本次大会的成功举办，让市场看到了国产射频滤波器的许多新力量。每一份力量，汇聚而成的就是中国射频滤波器的力量;每一丝进步和成就，汇聚而成的就是中国射频滤波器的进步和成就。通过本次大会，整合射频滤波器产业链各方资源，促进产业创新资源上下游流动，激发出更多创新性的想法和解决方案，为行业未来发展提供更多可能。通过分享技术见解和前沿思考，借助共同的智慧和能量，未来，射频滤波器领域必定会攻克产业发展难题，取得更多突破成果，日立高新技术作为优秀的设备厂商也会为中国科技自立自强做出更大贡献。