欧盟首个绝缘材料上铌酸锂LNOI工艺平台成立

2/14/2022，光纤在线讯，瑞士私立非盈利科研机构CSEM今天宣布创立欧盟首个绝缘体上铌酸锂（LNOI）光子集成芯片PIC工艺平台ELENA项目，并创立首个开放的流片产线。LNOI是全新的电光和非线性PIC平台，为超高速电信网络，光信号处理，可编程PIC，传感和光谱，LIDAR，量子信息处理和计算等提供优异的性能和新的功能。该项目得到欧盟Horizon 2020的资助。

ELENA是“基于铌酸锂的欧洲电光和非线性PIC平台”的首字母缩写，该项目致力于焕发铌酸锂这种传统材料的新生，采用硅衬底上铌酸锂薄膜的方式，这种技术有助于小型化，低成本和规模化生产。

ELENA项目下属的开放式流片平台将提供PDK服务，对整个光子工业开放，提供可负担的价格，并致力于打造整个欧洲的LNOI技术供应链，包括LNOI晶圆制造，设计软件，封装服务等。

LNOI是特别有竞争力的PIC技术，具有高电光系数，高内生二阶三阶非线性，350Nm-550nm透射窗，最近已经实现了硅衬底上的单晶体铌酸锂薄膜。

在ELENA之前，欧盟已经有了硅，氮化硅和磷化铟等材料的PIC平台。

ELENA的整个项目预算500万欧元，预计时间42个月，从2022年1月1日到2025年6月30日，除了CSEM外，还包括了法国SOITEC, 德国VPI光子，瑞士ETHZ, 德国Vanguard自动化公司，法国THALES公司，法国III-V LAB公司，L-up公司，CEA-LETI等。