中科院微电子所硅光平台加入CFOL会员：首个实现完整硅光工艺流片的平台

10/15/2020，近日，光纤在线再迎新会员—中科院微电子所硅光平台，这是国内首个完整硅光工艺流片能力的平台。自2017年5月开始对外服务以来，累计为200余家客户提供了MPW流片服务和定制化流片服务，为我国硅光子技术研究和产品研发提供了有力的支持。
    中科院微电子所硅光平台基于所级8英寸CMOS工艺线开发了成套硅光技术，包括硅光流片工艺库和基础器件库，制定了硅光子平台的设计规则和工艺规范，形成了平台的PDK，并于2017年5月正式发布了国内首个具有完整硅光工艺流片能力的硅光平台，同步启动首次MPW流片。 
 
    微电子所硅光平台已实现与主流光子集成设计软件Synopsys OptoDesigner实现了集成。用户可以在软件中调用IMECAS工具包，利用平台PDK提供的器件库，便捷、灵活地进行符合平台规范的硅光芯片设计。
 

    微电子所硅光平台已对外提供包括无源器件和有源器件在内的硅光全流程工艺服务。平台主要工艺模块包括220nm/150nm/70nm无源器件刻蚀工艺、高速调制器掺杂工艺、TiN加热器电极工艺、锗材料外延工艺、硅和锗的欧姆接触及金属层工艺等。

    微电子所硅光平台每年可对外提供4-6次MPW流片服务。同时为了满足客户的特殊工艺要求，可提供工艺定制服务。
 
    截止至2020年6月度，微电子所硅光平台已为200余家客户提供了MPW和定制化流片服务，客户包括国内外顶级科研机构及行业龙头企业，如：华为、清华、海信等。
    微电子所硅光平台立志成为国内专业的光子芯片加工中心，为国内外硅光技术研发和硅光产品开发提供最先进的工艺支持。

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