华工正源采购德国AIXTRON 外延沉积设备

 8/26/2013, 德国MOCVD系统供应商AIXTRON爱思强股份有限公司今日宣布，中国领先光学元器件开发生产商武汉华工正源光子技术有限公司（简称“华工正源”）已订购一套AIXTRON爱思强6x2英寸规格近耦合喷淋头(CCS)外延沉积系统，用以在磷化铟衬底上生产发光及检测设备。
华工正源首席科学家王肇中表示：“此次再度订购说明我们非常满意AIXTRON爱思强产品技术性能。我们现有的AIXTRON系统功能多样、易于操作且可重复性优良。购进新系统后，华工正源将能实施产能扩张计划，并开发高质量的外延产品。我们对再次顺利扩大产能以及AIXTRON爱思强服务团队卓越的支持、安装和操作服务充满期待。”
华工正源是中国拥有外延生长、管芯制作、器件、光学模块和子系统批量生产全套工艺生产线的制造商之一。产品范围涵盖半导体激光器、探测器管芯、有源器件和收发器，广泛应用于数字通讯、模拟通讯和光学传感器领域。
AIXTRON爱思强6x2英寸规格CCS系统专为研究和生产而设计。使用CCS系统开发的过程可以很容易地扩展至较大规模生产的CRIUS平台上。CCS的三个分区加热器能提供最佳的温度均匀性标准。
AIXTRON爱思强成立于1983年。在德国亚琛工业大学该公司开发出第一套MOCVD系统。2012年3月在中国苏州设立测试中心和实验室。