MEMS 正成为市场亮点

不支持该视频10/3/2002, 市场调研公司In-Stat/MDR (http://www.instat.com)日前指出MEMS器件制造设备正在成为半导体设备市场领域的亮点。目前全球有60家左右的MEMS制造工厂，上百家MEMS领域的新兴公司以及更多的大学和研究机构。他们构成了MEMS设备的市场基础。无论兼顾MEMS的半导体生产设备还是专门用于MEMS的设备目前的销售都还不错。另讯，领先的MEMS器件制造商OMM, Inc.刚刚获得MEMS领域的四项美国专利，依次是US# 6445841, US #6445840, US #6449406, US #6453083。(刘铮编译)