MEMS是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器（执行器）和微能源三大部分组成。

MEMS的特点就是小（1-100微米），非常小，比头发丝还小（70微米）。

MEMS的原理：把机械臂与电磁感应圈做成一个吸引电级系统，通电后，电磁像磁铁一样把悬臂吸引过来，和传输线连上，这是开；断电后，磁性消失，悬臂与传输线断开，这是关。

MEMS的应用：MEMS在我们生产，甚至生活中早已无处不在了，智能手机，健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备，部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了MEMS器件。

MEMS在光通信行业的应用包括：MEMS VOA(可调光衰减器)、MEMS光开关、MEMS光透镜阵列、MEMS光可调滤波器等。