台积电获荷兰ASML公司26台EUV光刻机一半的订单

4/09/2020，光纤在线讯，根据最新的数据显示，光刻机生产巨头荷兰ASML公司去年一共交付了26台极紫外光刻机（EUV），极紫外光刻机一般被用于先进的生产工艺，是晶圆代工厂生产芯片最重要的设备。

ASML此前公布，2019年共向客户交付了26台极紫外光刻机。其中，有9台是最新型号，即NXE:3400C，这些新型号的光刻机被用于7nn EUV工艺的制造。而在已经交付的用于生产7nm EUV工艺的光刻机当中，台积电的需求量最大。英国调查公司Omdia推测称，ASML去年交付的26台极紫外光刻机，大约有一半最终交付给了台积电，另外一半则流向了三星、英特尔等有晶圆业务的公司。其中2019年第四季度共交付了8台。



台积电2019年正式启动7nm产品的量产，这只能通过波长极短的EUV进行操作。资料显示，EUV光源波长比目前深紫外线微影的光源波长短少约15 倍，因此能达到持续将线宽尺寸缩小的目的。在晶圆代工领域，台积电掌握了全球约一半份额。

以最先进的极紫外光刻机为例，目前ASML公司每年的产能也就几十台，除了台积电以外，三星、英特尔等公司也有大量的需求。受制于产能、技术封锁等原因，国内的晶圆代工厂商想要购买一台先进的极紫外光刻机自然是难上加难。ASML在阿姆斯特丹泛欧证券交易所和纳斯达克上市。周三收盘，ASML(NASDAQ:ASML)股价上涨2.2%至278.58美元，总市值约1169.51亿美元。

截止到目前为止，国内最先进的制程还停留在14nm水平，这也是在去年年底才量产。即使是普通的7nm工艺光刻机，恐怕也要等到2021年才有可能交付。